第110章 光刻胶之战（1/2）

u00002006年春，苏州工业园区。

王晨站在一间无尘车间外，透过玻璃窗看着里面忙碌的身影。

这里是国家

"02专项

"光刻胶攻关组的实验基地，三十多名研究员正在调试第47批样品。

"王总，这批的金属离子含量降到10b了。

"攻关组组长陈教授摘下防护面罩，脸上带着疲惫的兴奋：

"比上一批又降了两个数量级。

"

王晨接过检测报告，b，十亿分之一。

进口光刻胶的标准是5b，他们还有一倍的差距。

但这一倍的距离，已经从最初的望尘莫及，变成了肉眼可见。

"曝光测试做了吗？

"

"做了。

"陈教授的表情黯淡下去：

"分辨率还是差，28纳米线宽出现边缘粗糙，良率只有62%。

"

62%。

晨芯的产线要求95%以上。

这意味着，即便光刻胶纯度达标，工艺窗口仍然打不开。

王晨沉默片刻，忽然问：

"陈教授，您看过我三年前写的DVD解码方案吗？

"

"看过，自适应算法，业内经典。

"

"那时候我用的是最便宜的空白芯片，但通过动态调整参数，让劣质硬件跑出了优质效果。

"

王晨指着报告上的数据：

"光刻胶也是一样。纯度不够，我们可以改光刻机的曝光策略；分辨率不足，我们可以调整显影液配方和蚀刻流程。不是等材料完美，而是让系统适配材料。

"

陈教授眼睛一亮：

"你是说......工艺协同优化？

"

"是。

"王晨从包里掏出一份文件：

"这是我让晨芯团队做的《国产光刻胶工艺适配白皮书》，包括曝光能量补偿模型、显影时间动态算法、蚀刻气体配比调整。我们不追求单项指标超越，追求系统级达标。

"

陈教授快速翻阅，手微微颤抖。

这份方案不是纸上谈兵，每一页都附着晨芯产线的实测数据，每一个参数都经过量产验证。

"王总，这......这相当于把晨芯的核心Know-how开放给我们了。

"

"是开放给国家。

"王晨纠正道：

"晨芯的算法专利，我申请无偿许可给02专项所有成员单位。条件是，三年内，国产光刻胶必须进入量产，优先供应晨芯。

"

陈教授握住他的手，眼眶发红：

"三年......我拼了这条老命，也给你做出来。

"

走出实验楼，春雨淅沥。

王晨的手机响了，是方雅琳打来的。

"王晨！

"方雅琳道：

"东南亚客户全转向了！美国禁令反而帮我们做了广告，现在连印度、巴西的客户都在问，中国芯片能不能替代德州仪器。

"

"物流呢？

"

"走香港转口，或者直接从苏州发货。

"方雅琳压低声音：

"但有些敏感地区，海运会被拦截。我在谈一条陆路，从新疆出境，经中亚到中东。

"

"风险很大。

"

"风险大才没人做。

"方雅琳道：

"王晨，这不是生意，是战争。我在帮你打一场芯片战争！

"

王晨看着屏幕里那个曾经只会撒娇的大小姐，如今满脸风霜却目光如炬。

他想起三年前在外滩，她说

"我喜欢你

"，然后转身离开。

这三年，他们每周通话，每月见面，却始终没有再谈那个话题。

"方雅琳。

"王晨忽然说：

"等光刻胶量产，我带你去苏州看樱花。

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